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ファナック株式会社 (FANUC CORPORATION)

ナノの世界を開拓する超精密ナノ加工機
FANUC ROBONANO α-0iB

商品説明

FANUC ROBONANO α-0iB は、ファナックのコントロール技術を結集し、機械加工の限界に挑戦する超精密ナノ加工機です。

光エレクトロニクス分野はもちろん、半導体、バイオ、医療分野など、ナノ精度が求められるハイテク機器部品の研究開発から量産まで、幅広くお役立ていただけます。

特長

ファナックのナノコントロール技術を結集し、機械加工の限界に挑戦

  • ファナックの最新のCNCである FANUC Series 30i-MODEL A で、ファナック最新のリニアモータと、同期ビルトインサーボモータを制御することにより、各軸を高精度にダイレクト駆動します。
  • 機械制御構造をシンプルにすることにより、高性能と高信頼性を実現しています。
  • 直線軸で1nm、回転軸で100万分の1°の指令分解能で制御可能です。

全静圧空気軸受

  • 全ての滑動部に静圧空気軸受けを適用し、バックラッシュやスティックスリップの原因となる固体摩擦を完全に無くしています。
  • 空気軸受に供給される空気流が乱流になることによる僅かな振動も、機械内の全ての空気流を層流化することで排除しています。

各種ナノ加工

5軸の標準機械本体を基本に、各種の加工方法に対応したオプションを用意しています。

ミリング加工(同時5軸まで対応)

  • ミリング用エアータービンスピンドルを搭載し、各種の超精密ミリング加工が可能です。
  • スピンドルはB、C軸テーブルのどちらにも搭載可能。加工形状に合わせた加工姿勢でセットアップできます。
  • 同時5軸制御機能により、小径の穴や、微細溝加工のみならず、自由曲面や各種マイクロアレイなどの複雑な形状に対応できます。

ミリング加工(同時5軸まで対応)

引き切り加工(同時5軸まで対応)

  • 同時5軸制御された非回転工具を用いることにより、方向、角度、深さ、ピッチが連続変化するマイクロパターンなど、複雑形状にも自由自在に対応できます。
  • 溝の角度も可変可能なため、回折型レンズやホログラム光学素子から医療用のマイクロ流路やバイオチップまで、設計の自由度を大幅に向上できます。

引き切り加工(同時5軸まで対応

旋削加工

  • 旋削用エアータービンスピンドルを搭載することで、非球面レンズなどの旋削加工に対応します。
  • ミリ以下の小径レンズからφ200mmの大型レンズまで加工可能です。
  • 多軸制御を利用することで、ピッチ、角度、深さが変化する複雑なフレネルレンズも加工できます。

旋削加工

高速引き切り加工(シャトルユニット)

  • 専用のシャトルユニットを搭載することで、マイクロ溝の超精密加工が最大5本/秒という高能率で実現できます。
  • 液晶用導光板や回折格子などの微細溝を短時間で加工します。
  • 微細ディンプル(窪み)アレイの高能率加工も加工可能です。
  • 面精度はRa 1nm台です。

高速引き切り加工(シャトルユニット)

機上計測機能による補正加工(ナノチェッカ)

  • 加工後、機上でワーク形状の計測および補正加工が可能です。
  • ワーク全面に対し3次元計測を行います。
  • 軸対称形状のみならず、複雑な自由曲面形状も、対応可能です。

機上計測機能による補正加工(ナノチェッカ)

試験加工のご案内

超精密ナノ加工の適用可能性についてご理解いただくため、当社では FANUC ROBONANO α-0iB による試験加工を承っております。

形状、材料、要求精度など、是非下記の問い合せ先にご相談下さい。

お問い合わせ

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